2006年夏假的一天，刚从美国回来的张海霞被学生问得哑口无言。当时她正在讲台上激情四射地讲着MEMS美好的应用前景，会成为未来的支柱产业，甚至对工业基础都会有一个很大的贡献。突然一个学生问了一个问题，“老师，您讲得特别好，我也很激动，可我就是找不到工作”。 这让张海霞觉得很受打击，学生讲得很残酷但却是事实，很多研究MEMS的学生毕业后都转向了IC。在北大微电子学研究院从事MEMS研究是她热爱的事业，对于老师来讲，学生就是产品，而现在学生直白地告诉她：你生产的产品没有销路。
电子科技类产品设计中的“明星”MEMS传感器 虽然MEMS(微电子机械系统)技术被用于安全气囊和汽车压力传感器领域已有二十年左右，但却是任天堂Wii和苹果iPhone的热销带活了MEMS市场的应用。可以毫不夸张的说：“这是一场声势浩大的市场拉动MEMS应用的革命”。MEMS当之无愧成为电子产品设计中的“明星”。本次半月谈将带给您有关MEMS传感器的应用，MEMS传感器的设计，商机及趋势等内容。期待您的关
中星测控于2004年7月申请的微机械-电子系统技术固态角速率陀螺发明专利，经过五年的严格审查，7月8日，由国家知识产权总局正式授权，并颁发专利证书。专利号为：ZL5.4。 这是中星测控获得的第三项发明专利，至此，中星测控已获得2项陀螺仪和1项IMU发明专利。MEMS惯性传感器是中星测控的基本的产品系列之一，获得的三项发明专利均系该领域，这体现着中星测控在惯性导航传感器方面研发实力慢慢地加强，产品竞争力也慢慢变得高。 一直以来，中星测控很注重自主研发，拥有包括多名博士与硕士
前 言 现代液压技术探讨研究热点由静态特性向动态特性转变，以往的经验证明，静态特性很完善的系统，运行后时常会发生振动、噪音等问题，这主要是由于系统动态特性研究不到造成的。出于种种目的，国内外对管道动特性进
机遇与挑战： 消费性电子与手机市场可望为整个MEMS市场带来未来快速成长与恢复的动能 iPhone引发MEMS应用于行动电话的需求大幅度提高 MEMS加速器成为全世界最热门电子科技类产品关键性输入装置，出货量快速成长 消费性电子终端应用对于采用陀螺仪与加速器等MEMS惯性传感器的渗透率明显提高 市场数据： 2009~2013年全球MEMS于手机与消费性电子应用市场年复合成长率(CAGR)将达到20% 从2008
全球传感器市场正呈现出快速增长态势。资讯公司INTECHNOCONSULTING的市场报告数据显示，2008年全球传感器市场容量为506亿美元，预计2010年全球传感器市场可达600亿美元以上。 加速度、振动、速度传感器是汽车运动测量中的三种主要传感器，从始至终保持稳定而强劲的增长势头。其中加速度传感器的市场增速尤为明显。 汽车电子的发展 “没有传感器技术就没有现代汽车”已成为业内共识，这在某种程度上预示着汽车电子化越发达，自动化程度越高，对传感器依赖性就越大。对此，业内专家认为
法国市场研究机构Yole Development针对微机电系统(MEMS)市场发表最新报告说明，目前全球至少50家公司正在提供MEMS代工服务，使得该领域变得高度分散与高竞争性，但又是整体MEMS产业必不可少的一块。 Yole表示，大型的开放MEMS代工厂现在都很赚钱，并开始升级到8吋晶圆制程;不过由于MEMS在消费性应用领域的高成长性，和来自其它高潜力应用市场的商机，也吸引了许多来自主流半导体产业的新进者投入竞争。 Yole并指出，由于这些来自半导体产业的新进者，具备能结合CMOS技术
据iSuppli公司，由于加速计在苹果iPhone和Palm公司的Pre等热门智能手机用户界面中所起的核心作用，明年出货的手机中将有三分之一采用这种器件。 iSuppli公司微电机系统(MEMS)总监及首席分析师Jrmie Bouchaud认为：“到明年，全球出货的手机中将有三分之一包含加速计，而2009年该比例是五分之一，而2008年只有11分之一。” “虽没几个消费者知道加速计是啥东西，但他们都知道，当把iPho
作为中国最早做传感器的专家之一，上海传感器协会秘书长颜重光表示如今国内MEMS产业化仍然不够成熟，尤其是加工方面与国外存在着很大的差距。 颜重光指出，MEMS与机械类传感器相比，精度相对差一些，主要是由于半导体自身的温度特性有关，但如果与单片机配合进行漂移补偿，可以相应的增加精度。并且由于MEMS产品能大批量生产，成本比较低因此很适合消费类产品的应用。 但其同时谈到，尽管伴随着MEMS应用增加出货量成倍增长，量产起来仍然困难。根本原因是MEMS的加工方式与普通芯片不同，芯片为单面腐蚀而M
无论Nokia N95/N96、黑莓手机、三星的Omnia还是宏达的Diamond并还有苹果的iPhone，在如今几乎所有热销的智能手机中，MEMS技术都扮演着很重要的角色。而在层出不穷的创意推动下，MEMS技术的应用已经不限于仅仅提供令人眼花缭乱的视觉体验，举例来说，在LG最新的手机里，用于接听来电的Tap mode以及来电时翻转手机就可以实现静音等功能都是这一技术巨大潜力的最新体现。 但是手机市场还只是MEMS上述潜力的冰山一角。正如Bosch Sensorte
基于DSP的MEMS陀螺仪信号处理平台设计,0 引 言 陀螺仪是一种能够精确地确定运动物体方位的仪器，它是现代航空、航海、航天和国防工业中普遍的使用的一种惯性导航仪器，它的发展对一个国家的工业，国防和其他高科技的发展具有十分重要的战略意义。
法国Yole Development发布了2008年前20位的MEMS代工排名，主要的变化有： - 专用的MEMS代工厂相比2007年下降。 - 加拿大的Micralyne成为开放式MEMS代工厂的排名第一。 - 主要的开放式MEMS代工厂开始赢利。 - 三洋及香港华润半导体停止了MEMS代工业务。 - Jazz半导体进入MEMS代工业务并迅速增加。 - 大日本印刷的业务受汽车业务萎缩影响严重。 尽管受几
机遇与挑战： ADI开创了产业化先河之后，MEMS才有了突飞猛进的进展与大范围的应用 MEMS产品的覆盖范围广，在中国主要使用在还是手机方面 将存储器与MEMS进行结合是ADI一项独特的专利技术 “ADI公司一直大力进行研发投资，会为未来三到五年做准备。”ADI公司MEMS事业部亚太/大中华区市场经理Stephen Wu表示，“技术令ADI区别于其它公司。” MEMS产业化先锋 2005年，塔克商学院教授Vijay Govi
针对现在MEMS陀螺仪的精度还不高的状况，为降低陀螺仪信号的噪声，改善其非线性性能，提高陀螺仪信号的精度，提出基于TI公司的数字信号处理器TMS320VC33的MEMS陀螺信号实时采集与处理系统，对MEMS陀螺信号进行降噪、非线性补偿处理；并在DSP多任务机制下实现数据采集、处理、传输的并行化，该信号处理平台信号处理时间短，实时性高，能够完全满足MEMS陀螺仪的使用上的要求，算法简单有效，可以明显降低MEMS陀螺信号的噪声，在实际应用中具有一定的参考意义。
继台积电上周于技术论坛中广发MEMS英雄帖后，中芯MEMS部门升格为独立部门，以展现深耕MEMS市场决心。中芯表示，踏入此市场仅约1年，但预计2009年底前，已有3项商品已可进入大量投产，而市场上每项MEMS产品，中芯至少都有1个客户，因此对中芯来说，MEMS成长潜力值得期待。 台积电于上周举办技术论坛中对于MEMS市场相当看好，指出进入MEMS市场到现在为止已有7年，当中已累计出多项制程及IP技术，除此之外，台积电更已可提供标准制程(StandardProcess)，让MEMS客户可安心至台积