19亿元,这是现在全球最贵电子设备的价格,它便是全球最大的光刻机供货商ASML先手的NA 0.55高数值孔径EUV光刻机的价格,而购买者则是大名鼎鼎的英特尔。
在当时NA 0.33的EUV光刻机中,英特尔动作慢了,被台积电、三星抢先,因而,鄙人一代NA 0.55的EUV光刻工艺中,英特尔不允许相同的过错再次发生,这一非必须抢先三星台积电下单,也会抢先量产20A及18A工艺,初次进入埃米级工艺节点。
基于此,4年来英特尔实际上现已下单了6台NA 0.55的EUV光刻机,其间分为两种,Twinscan Exe:5000系列大多数都用在工艺研制,产能输出是185WPH,每小时出产185片晶圆,2023年上半年交给。